Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 2
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Валиев, Камиль Ахметович.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 338-347
Кл.слова (ненормированные):
литография субмикронная -- литография ионно-лучевая -- термоэлектронная эмиссия -- Ленгмюра закон -- Шотки эффект -- автоэмиссия электронов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Валиев, Камиль Ахметович.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 338-347
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
литография субмикронная -- литография ионно-лучевая -- термоэлектронная эмиссия -- Ленгмюра закон -- Шотки эффект -- автоэмиссия электронов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
В 155
Валиев, Камиль Ахметович.
Физика субмикронной литографии / К. А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 328 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.. - ISBN 5020143812
Кл.слова (ненормированные):
вычислительная техника -- субмикронное сечение -- Ленгмюра закон -- быстрые электроны -- Борна метод -- литография ионно-лучевая -- фотолитография рентгеновская -- литография оптическая
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (2)
Свободны: Книгохранение (2)
В 155
Валиев, Камиль Ахметович.
Физика субмикронной литографии / К. А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 328 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.. - ISBN 5020143812
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
вычислительная техника -- субмикронное сечение -- Ленгмюра закон -- быстрые электроны -- Борна метод -- литография ионно-лучевая -- фотолитография рентгеновская -- литография оптическая
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (2)
Свободны: Книгохранение (2)
Page 1, Results: 2