Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Милешко, Л. П.
Анодное окисление кремния в легирующих электролитах [Текст] / Л. П. Милешко // Физика и химия обработки материалов. - N 3 (2004), С. 81-92
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- электролиты -- окисление кремния -- анодное окисление кремния -- легирующие электролиты -- анодирование кремния -- кинетика
Аннотация: Изучены кинетика и механизм анодирования кремния в этиленгликоле и тетрагидрофурфуриловом спирте с легирующими добавками.
Милешко, Л. П.
Анодное окисление кремния в легирующих электролитах [Текст] / Л. П. Милешко // Физика и химия обработки материалов. - N 3 (2004), С. 81-92
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- электролиты -- окисление кремния -- анодное окисление кремния -- легирующие электролиты -- анодирование кремния -- кинетика
Аннотация: Изучены кинетика и механизм анодирования кремния в этиленгликоле и тетрагидрофурфуриловом спирте с легирующими добавками.
Page 1, Results: 1