Electronic catalog

Колпаков, В. А.
    Механизм адгезии в структурах металл-диэлектрик после бомбардировки потоком заряженных частиц [Текст] / В. А. Колпаков // Физика и химия обработки материалов. - N 1 (2007), С. 53-58

Рубрики: электроника

   физика

   радиоэлектроника

   физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
диэлектрики -- металлические пленки -- тонкие металлические пленки -- бомбардировка потоком заряженных частиц -- структуры металл-диэлектрик -- адгезия тонких металлических пленок -- ионно-электронные потоки -- бомбардировка ионно-электронным потоком
Аннотация: Экспериментально исследовано влияние бомбардировки ионно-электронным потоком на адгезию тонких металлических пленок к поверхности диэлектрика. Степень и характер адгезии полностью определяются режимами обработки и типом рабочего газа.

Колпаков, В. А. Механизм адгезии в структурах металл-диэлектрик после бомбардировки потоком заряженных частиц [Текст] / В. А. Колпаков // Физика и химия обработки материалов. - N 1 (2007), С. 53-58