Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 2
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324.. - ISBN 5283039390
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324.. - ISBN 5283039390
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Д 182
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - Москва : Энергоатомиздат, 1987. - 262, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 252-260
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- рабочие газы -- вакуумно-технические параметры -- насосы -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- реактивное травление -- радиационно-стимулированное травление -- скорость травления -- спектроскопия
Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Д 182
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - Москва : Энергоатомиздат, 1987. - 262, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 252-260
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- рабочие газы -- вакуумно-технические параметры -- насосы -- ионно-плазменное травление -- ионно-лучевое травление -- радикальное травление -- реактивное травление -- радиационно-стимулированное травление -- скорость травления -- спектроскопия
Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 2