Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
vtls000413077
621.382 Б 695
Блинов, Иван Григорьевич.
Оборудование полупроводникового производства : учебное пособие для приборостроительных специальностей вузов / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 263 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 256-258
Кл.слова (ненормированные):
виды нагрева -- вакуумная система -- газовые системы -- монокристаллы -- оборудование для резки слитков -- очистка полупроводниковых приборов -- диффузионная система -- процесс ионной имплантации -- газовая эпитаксия -- жидкофазная эпитаксия -- фотолитография -- монтажно-сварочное оборудование -- автоматические поточные линии -- автоматизированные технологические комплексы -- промышленные роботы
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
621.382 Б 695
Блинов, Иван Григорьевич.
Оборудование полупроводникового производства : учебное пособие для приборостроительных специальностей вузов / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 263 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 256-258
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
виды нагрева -- вакуумная система -- газовые системы -- монокристаллы -- оборудование для резки слитков -- очистка полупроводниковых приборов -- диффузионная система -- процесс ионной имплантации -- газовая эпитаксия -- жидкофазная эпитаксия -- фотолитография -- монтажно-сварочное оборудование -- автоматические поточные линии -- автоматизированные технологические комплексы -- промышленные роботы
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Page 1, Results: 1