Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Ефремов, Александр Михайлович.
Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2012. - 215 с. : табл., ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце гл. . - ISBN 9785922114066
Рубрики: плазма (физика) низкотемпературная--кинетика--монографии
плазмохимические реакции--монографии
газовые разряды в хлоре--монографии
электронные приборы--производство--плазменные методы--монографии
травление--применение в производстве микросхем--монографии
Кл.слова (ненормированные):
кинетика плазмохимических процессов -- излучение разряда плазмы в хлоре -- низкотемпературная неравновесная газоразрядная плазма -- травление в плазме газового разряда -- электрические разряды в галогенсодержащих газах -- плазмохимия -- травление меди в хлоре -- гетерогенные плазменные процессы -- плазмохимическое травление неорганических материалов -- травление кремния в хлоре -- реакции в электрических разрядах -- плазменное травление -- плазмохимические технологии, применение -- плазма хлора, физико-химические процессы
Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Ефремов, Александр Михайлович.
Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2012. - 215 с. : табл., ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце гл. . - ISBN 9785922114066
| УДК |
Рубрики: плазма (физика) низкотемпературная--кинетика--монографии
плазмохимические реакции--монографии
газовые разряды в хлоре--монографии
электронные приборы--производство--плазменные методы--монографии
травление--применение в производстве микросхем--монографии
Кл.слова (ненормированные):
кинетика плазмохимических процессов -- излучение разряда плазмы в хлоре -- низкотемпературная неравновесная газоразрядная плазма -- травление в плазме газового разряда -- электрические разряды в галогенсодержащих газах -- плазмохимия -- травление меди в хлоре -- гетерогенные плазменные процессы -- плазмохимическое травление неорганических материалов -- травление кремния в хлоре -- реакции в электрических разрядах -- плазменное травление -- плазмохимические технологии, применение -- плазма хлора, физико-химические процессы
Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 1