Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления по ГОСТ Р 8. 628 - 2007 // Справочник. Инженерный журнал. - N 7 (2009), С. 3-5
ББК 34.1
Рубрики: Технология металлов
Общая технология металлов
ГОСТ Р 8. 628 - 2007
Кл.слова (ненормированные):
ГОСТы -- длина -- зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы -- микроскопы -- монокристаллический кремний -- размеры -- растровые электронные измерительные микроскопы -- рельефные меры нанометрового диапазона
Аннотация: Рассмотрен стандарт, который устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления по ГОСТ Р 8. 628 - 2007 // Справочник. Инженерный журнал. - N 7 (2009), С. 3-5
| УДК |
Рубрики: Технология металлов
Общая технология металлов
ГОСТ Р 8. 628 - 2007
Кл.слова (ненормированные):
ГОСТы -- длина -- зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы -- микроскопы -- монокристаллический кремний -- размеры -- растровые электронные измерительные микроскопы -- рельефные меры нанометрового диапазона
Аннотация: Рассмотрен стандарт, который устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Page 1, Results: 1