Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС : учебное пособие / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев [и др.] ; Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; Московский институт электронной техники. - Москва : [б. и.], 1977. - 129 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 126
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- фотолитография -- диффузия примесей -- эпитаксиальное наращивание пленок -- металлизация -- фоторезисты -- ионизация примесей
Доп.точки доступа:
Глазов, В. М.
Гурская, Л. В.
Игнатьев, В. В.
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС : учебное пособие / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев [и др.] ; Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; Московский институт электронной техники. - Москва : [б. и.], 1977. - 129 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 126
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- фотолитография -- диффузия примесей -- эпитаксиальное наращивание пленок -- металлизация -- фоторезисты -- ионизация примесей
Доп.точки доступа:
Глазов, В. М.
Гурская, Л. В.
Игнатьев, В. В.
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 1