Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 3
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Ч-591
Чижевич, Людмила Анатольевна.
Технологические процессы изготовления микросхем : учебное пособие / Л. А. Чижевич, Е. Л. Гамаюнов ; Дальневосточный политехнический институт ; Дальневосточный политехнический институт (Владивосток). - Владивосток : [б. и.], 1986. - 79 с. : ил. - Библиогр. : с. 78-79
Кл.слова (ненормированные):
микросхемы тонкопленочные -- микросхемы полупроводниковые -- микросхемы интегральные -- диэлектрические пленки -- термовакуумное испарение -- ионно-плазменное распыление -- окисление термохимическое -- окисление электролитическое
Доп.точки доступа:
Гамаюнов, Евгений Леонидович
Дальневосточный политехнический институт (Владивосток)
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
Ч-591
Чижевич, Людмила Анатольевна.
Технологические процессы изготовления микросхем : учебное пособие / Л. А. Чижевич, Е. Л. Гамаюнов ; Дальневосточный политехнический институт ; Дальневосточный политехнический институт (Владивосток). - Владивосток : [б. и.], 1986. - 79 с. : ил. - Библиогр. : с. 78-79
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микросхемы тонкопленочные -- микросхемы полупроводниковые -- микросхемы интегральные -- диэлектрические пленки -- термовакуумное испарение -- ионно-плазменное распыление -- окисление термохимическое -- окисление электролитическое
Доп.точки доступа:
Гамаюнов, Евгений Леонидович
Дальневосточный политехнический институт (Владивосток)
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
2.
Подробнее
Теллуроид кадмия в пленках системы теллур-кадмий, сформированной ультрадисперсными частицами [Текст] / Ю. Ж. Тулеушев [и др.]. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 8.
Кл.слова (ненормированные):
кадмий -- теллуроид кадмия -- кадмий в пленках -- ультрадисперсные частицы -- CdTe -- ионно-плазменное распыление -- покрытие ультрадисперсными частицами
Доп.точки доступа:
Тулеушев, Ю. Ж.
Володин, В. Н.
Мигунова, А. А.
Лисицын, В. Н.
Теллуроид кадмия в пленках системы теллур-кадмий, сформированной ультрадисперсными частицами [Текст] / Ю. Ж. Тулеушев [и др.]. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 8.
Кл.слова (ненормированные):
кадмий -- теллуроид кадмия -- кадмий в пленках -- ультрадисперсные частицы -- CdTe -- ионно-плазменное распыление -- покрытие ультрадисперсными частицами
Доп.точки доступа:
Тулеушев, Ю. Ж.
Володин, В. Н.
Мигунова, А. А.
Лисицын, В. Н.
3.
Подробнее
Шумилов, А. С.
Моделирование морфологии поверхности при низкоэнергетическом ионном распылении [Текст] / А. С. Шумилов, И. И. Амиров. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 7.
Кл.слова (ненормированные):
ионное распыление -- низкоэнергетическое ионное распыление -- ионно-плазменное распыление -- кремневые канавки -- профиль кремнеевых канавок -- моделирование профиля кремнеевых канавок
Доп.точки доступа:
Амиров, И. И.
Шумилов, А. С.
Моделирование морфологии поверхности при низкоэнергетическом ионном распылении [Текст] / А. С. Шумилов, И. И. Амиров. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 7.
Кл.слова (ненормированные):
ионное распыление -- низкоэнергетическое ионное распыление -- ионно-плазменное распыление -- кремневые канавки -- профиль кремнеевых канавок -- моделирование профиля кремнеевых канавок
Доп.точки доступа:
Амиров, И. И.
Page 1, Results: 3