Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Королев, А. Н.
Особенности кинетики электролитического анодирования наноструктур Ta-GaAs и Nb-GaAs / А. Н. Королев, В. Н. Котов, Л. П. Милешко // Физика и химия обработки материалов. - N 1 (2009), С. 42-44
ББК 31.233
Рубрики: Энергетика
Полупроводниковые материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- электролитическое анодирование -- комбинированные оксидные пленки -- полупроводники -- оксидные пленки металлов -- вентильные металлы -- имплантирование -- диэлектрические покрытия -- легированные диэлектрические покрытия -- двухслойные диэлектрические покрытия
Аннотация: Методом анодного окисления пленок Ta и Nb на GaAsp-типа получены комбинированные оксидные пленки металлов и полупроводника.
Доп.точки доступа:
Котов, В. Н.
Милешко, Л. П.
Королев, А. Н.
Особенности кинетики электролитического анодирования наноструктур Ta-GaAs и Nb-GaAs / А. Н. Королев, В. Н. Котов, Л. П. Милешко // Физика и химия обработки материалов. - N 1 (2009), С. 42-44
| УДК |
Рубрики: Энергетика
Полупроводниковые материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- электролитическое анодирование -- комбинированные оксидные пленки -- полупроводники -- оксидные пленки металлов -- вентильные металлы -- имплантирование -- диэлектрические покрытия -- легированные диэлектрические покрытия -- двухслойные диэлектрические покрытия
Аннотация: Методом анодного окисления пленок Ta и Nb на GaAsp-типа получены комбинированные оксидные пленки металлов и полупроводника.
Доп.точки доступа:
Котов, В. Н.
Милешко, Л. П.
Page 1, Results: 1