Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Симоненко, З. Г.
Современные эллипсометрические методы решения задач нанотехнологического исследования материалов / З. Г. Симоненко // Металлообработка. - N 2 (2009), С. 58-62. - Библиогр.: с. 62 (6 назв. )
ББК 32.86-5
Рубрики: Радиоэлектроника
Квантовые приборы
Кл.слова (ненормированные):
нанотехнологические исследования -- исследования материалов -- лазерные эллипсометры -- информационно-измерительные системы -- эллипсометрические методы -- эллипсометрия отражения -- эллипсометрия пропускания
Аннотация: Рассмотрены современные эллипсометрические методы исследования материалов для решения задач нанотехнологий. Описаны эллипсометрия отражения и пропускания, а также типы применяемых лазерных эллипсометров, показаны перспективы их использования.
Симоненко, З. Г.
Современные эллипсометрические методы решения задач нанотехнологического исследования материалов / З. Г. Симоненко // Металлообработка. - N 2 (2009), С. 58-62. - Библиогр.: с. 62 (6 назв. )
| УДК |
Рубрики: Радиоэлектроника
Квантовые приборы
Кл.слова (ненормированные):
нанотехнологические исследования -- исследования материалов -- лазерные эллипсометры -- информационно-измерительные системы -- эллипсометрические методы -- эллипсометрия отражения -- эллипсометрия пропускания
Аннотация: Рассмотрены современные эллипсометрические методы исследования материалов для решения задач нанотехнологий. Описаны эллипсометрия отражения и пропускания, а также типы применяемых лазерных эллипсометров, показаны перспективы их использования.
Page 1, Results: 1