Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Валиев, Камиль Ахметович.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 338-347
Кл.слова (ненормированные):
литография субмикронная -- литография ионно-лучевая -- термоэлектронная эмиссия -- Ленгмюра закон -- Шотки эффект -- автоэмиссия электронов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Валиев, Камиль Ахметович.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 338-347
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
литография субмикронная -- литография ионно-лучевая -- термоэлектронная эмиссия -- Ленгмюра закон -- Шотки эффект -- автоэмиссия электронов -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 1