Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра / А. Н. Королев [и др. ] // Измерительная техника. - N 4 (2005), С. 29-33
ББК 30.10
Рубрики: Техника--Метрология
Кл.слова (ненормированные):
интерференция -- микроинтерферометры -- нанометрология -- мера высоты ступени -- лазерные микроинтерферометры -- прецизионные технологии -- сканирующие микроскопы
Аннотация: Предложена оптическая схема микроинтерферометра для измерения высоты микроступени с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности.
Доп.точки доступа:
Королев, А. Н.
Лукин, А. Я.
Коротков, В. И.
Пулькин, С. А.
Сизов, А. Л.
Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра / А. Н. Королев [и др. ] // Измерительная техника. - N 4 (2005), С. 29-33
| УДК |
Рубрики: Техника--Метрология
Кл.слова (ненормированные):
интерференция -- микроинтерферометры -- нанометрология -- мера высоты ступени -- лазерные микроинтерферометры -- прецизионные технологии -- сканирующие микроскопы
Аннотация: Предложена оптическая схема микроинтерферометра для измерения высоты микроступени с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности.
Доп.точки доступа:
Королев, А. Н.
Лукин, А. Я.
Коротков, В. И.
Пулькин, С. А.
Сизов, А. Л.
Page 1, Results: 1