Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 2
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра / А. Н. Королев [и др. ] // Измерительная техника. - N 4 (2005), С. 29-33
ББК 30.10
Рубрики: Техника--Метрология
Кл.слова (ненормированные):
интерференция -- микроинтерферометры -- нанометрология -- мера высоты ступени -- лазерные микроинтерферометры -- прецизионные технологии -- сканирующие микроскопы
Аннотация: Предложена оптическая схема микроинтерферометра для измерения высоты микроступени с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности.
Доп.точки доступа:
Королев, А. Н.
Лукин, А. Я.
Коротков, В. И.
Пулькин, С. А.
Сизов, А. Л.
Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра / А. Н. Королев [и др. ] // Измерительная техника. - N 4 (2005), С. 29-33
| УДК |
Рубрики: Техника--Метрология
Кл.слова (ненормированные):
интерференция -- микроинтерферометры -- нанометрология -- мера высоты ступени -- лазерные микроинтерферометры -- прецизионные технологии -- сканирующие микроскопы
Аннотация: Предложена оптическая схема микроинтерферометра для измерения высоты микроступени с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности.
Доп.точки доступа:
Королев, А. Н.
Лукин, А. Я.
Коротков, В. И.
Пулькин, С. А.
Сизов, А. Л.
2.
Подробнее
О-627
Оптические приборы в машиностроении : справочник / М. И. Апенко, И. П. Араев, В. А. Афанасьев [и др.]. - Москва : Машиностроение, 1974. - 238 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 230-234
Авт. указ. на обор. тит. л.
Рубрики: машиностроение--контрольно-измерительные приборы оптические--справочники
оптические приборы--справочники
Кл.слова (ненормированные):
физическая оптика -- геометрическая оптика -- оптические системы -- оптические приборы контроля измерений -- оптические материалы -- волоконная оптика -- микроскропы измерительные -- компараторы -- длиномеры -- оптиметры -- оптикаторы -- ультраоптиметры -- измерительные машины -- катетометры -- интерферометры -- угломеры оптические -- приборы теневого сечения -- приборы светового сечения -- микроинтерферометры -- профилометры оптические -- профилографы -- рефлексометры -- контрольно-юстировочные приборы -- приборы для определения преломления -- коллиматоры -- автоколлиматоры -- диоптрийные трубки -- гениометры -- сферометры -- уровни -- теодолиты -- нивелиры
Доп.точки доступа:
Апенко, М. И.
Араев, И. П.
Афанасьев, В. А.
Экземпляры всего: 4
Книгохранение (2), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Свободны: Книгохранение (2), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
О-627
Оптические приборы в машиностроении : справочник / М. И. Апенко, И. П. Араев, В. А. Афанасьев [и др.]. - Москва : Машиностроение, 1974. - 238 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 230-234
Авт. указ. на обор. тит. л.
| УДК |
Рубрики: машиностроение--контрольно-измерительные приборы оптические--справочники
оптические приборы--справочники
Кл.слова (ненормированные):
физическая оптика -- геометрическая оптика -- оптические системы -- оптические приборы контроля измерений -- оптические материалы -- волоконная оптика -- микроскропы измерительные -- компараторы -- длиномеры -- оптиметры -- оптикаторы -- ультраоптиметры -- измерительные машины -- катетометры -- интерферометры -- угломеры оптические -- приборы теневого сечения -- приборы светового сечения -- микроинтерферометры -- профилометры оптические -- профилографы -- рефлексометры -- контрольно-юстировочные приборы -- приборы для определения преломления -- коллиматоры -- автоколлиматоры -- диоптрийные трубки -- гениометры -- сферометры -- уровни -- теодолиты -- нивелиры
Доп.точки доступа:
Апенко, М. И.
Араев, И. П.
Афанасьев, В. А.
Экземпляры всего: 4
Книгохранение (2), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Свободны: Книгохранение (2), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Page 1, Results: 2