Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 4
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния [Текст] / С. А. Грудинкин [и др.]. // 7 nnas. Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 57, вып. 12.
Кл.слова (ненормированные):
инфракрасная спектроскопия -- карбид кремния -- монокристаллический кремний -- эпитаксиальный слой карбида кремния -- подложка кремния -- ИК-спектр карбида кремния
Доп.точки доступа:
Грудинкин, С. А.
Голубев, В. Г.
Осипов, А. В.
Феоктистов, Н. А.
Кукушкин, С. А.
Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния [Текст] / С. А. Грудинкин [и др.]. // 7 nnas. Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 57, вып. 12.
Кл.слова (ненормированные):
инфракрасная спектроскопия -- карбид кремния -- монокристаллический кремний -- эпитаксиальный слой карбида кремния -- подложка кремния -- ИК-спектр карбида кремния
Доп.точки доступа:
Грудинкин, С. А.
Голубев, В. Г.
Осипов, А. В.
Феоктистов, Н. А.
Кукушкин, С. А.
2.
Подробнее
Матвеев, В. В.
Зависимость характеристик микромеханического гироскопа от ориентации упругих элементов на пластине монокристаллического кремния / В. В. Матвеев, В. Я. Распопов // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 49, N 6 (2006), С. 61-66. - Библиогр.: с. 66 (5 назв. ). - Специальный выпуск: "Авионика. Научно-технические и образовательные аспекты"
ББК 22.213
Рубрики: Механика--Динамика
Кл.слова (ненормированные):
гироскопы -- микромеханические приборы -- кремний -- монокристаллический кремний -- электромеханические системы
Аннотация: В работе рассмотрено влияние ориентации упругих элементов подвеса на характеристики микромеханического гироскопа RR-типа. Показано, в каких направлениях необходимо располагать упругие элементы подвеса на пластине монокристаллического кремния, чтобы получить заданные характеристики гироскопа.
Доп.точки доступа:
Распопов, В. Я.; Тульский государственный университет
Матвеев, В. В.
Зависимость характеристик микромеханического гироскопа от ориентации упругих элементов на пластине монокристаллического кремния / В. В. Матвеев, В. Я. Распопов // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 49, N 6 (2006), С. 61-66. - Библиогр.: с. 66 (5 назв. ). - Специальный выпуск: "Авионика. Научно-технические и образовательные аспекты"
| УДК |
Рубрики: Механика--Динамика
Кл.слова (ненормированные):
гироскопы -- микромеханические приборы -- кремний -- монокристаллический кремний -- электромеханические системы
Аннотация: В работе рассмотрено влияние ориентации упругих элементов подвеса на характеристики микромеханического гироскопа RR-типа. Показано, в каких направлениях необходимо располагать упругие элементы подвеса на пластине монокристаллического кремния, чтобы получить заданные характеристики гироскопа.
Доп.точки доступа:
Распопов, В. Я.; Тульский государственный университет
3.
Подробнее
Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления по ГОСТ Р 8. 628 - 2007 // Справочник. Инженерный журнал. - N 7 (2009), С. 3-5
ББК 34.1
Рубрики: Технология металлов
Общая технология металлов
ГОСТ Р 8. 628 - 2007
Кл.слова (ненормированные):
ГОСТы -- длина -- зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы -- микроскопы -- монокристаллический кремний -- размеры -- растровые электронные измерительные микроскопы -- рельефные меры нанометрового диапазона
Аннотация: Рассмотрен стандарт, который устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления по ГОСТ Р 8. 628 - 2007 // Справочник. Инженерный журнал. - N 7 (2009), С. 3-5
| УДК |
Рубрики: Технология металлов
Общая технология металлов
ГОСТ Р 8. 628 - 2007
Кл.слова (ненормированные):
ГОСТы -- длина -- зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы -- микроскопы -- монокристаллический кремний -- размеры -- растровые электронные измерительные микроскопы -- рельефные меры нанометрового диапазона
Аннотация: Рассмотрен стандарт, который устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
4.
Подробнее
Влияние примесей на оптические свойства монокристаллического кремния / В. Я. Менделеев [ и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2009), С. 57-59
ББК 22.3
Рубрики: Физика
Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- показатели преломлений -- коэффициент экстинции -- примеси -- оптические свойства -- монокристаллический кремний
Аннотация: По экспериментально измеренным спектральным зависимостям коэффициентов пропускания и отражения монокристаллического Si n- типа, легированного фосфором и сурьмой, определены значения показателя преломления и коэффициента экстинции Si в интервале 750- 1100 нм.
Доп.точки доступа:
Менделеев, В. Я.
Сковородько, С. Н.
Курилович, А. В.
Лубнин, Е. Н.
Просвириков, В. М.
Влияние примесей на оптические свойства монокристаллического кремния / В. Я. Менделеев [ и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - N 4 (2009), С. 57-59
| УДК |
Рубрики: Физика
Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- показатели преломлений -- коэффициент экстинции -- примеси -- оптические свойства -- монокристаллический кремний
Аннотация: По экспериментально измеренным спектральным зависимостям коэффициентов пропускания и отражения монокристаллического Si n- типа, легированного фосфором и сурьмой, определены значения показателя преломления и коэффициента экстинции Si в интервале 750- 1100 нм.
Доп.точки доступа:
Менделеев, В. Я.
Сковородько, С. Н.
Курилович, А. В.
Лубнин, Е. Н.
Просвириков, В. М.
Page 1, Results: 4