Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 3
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Киреев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил., табл. - Библиогр. : с. 314-319. - ISBN 9785915592154
Рубрики: нанолитография--учебные издания для вузов
нанотехнологии--микроэлектроника--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурирование -- нанотехнологии (электроника) -- наноструктуры (топология) -- интегральные схемы -- фотолитография -- литографические системы -- наноимпринт-литография -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- травление (нанолитография)
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Киреев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с., [4] л. ил. : ил., табл. - Библиогр. : с. 314-319. - ISBN 9785915592154
| УДК |
Рубрики: нанолитография--учебные издания для вузов
нанотехнологии--микроэлектроника--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноструктурирование -- нанотехнологии (электроника) -- наноструктуры (топология) -- интегральные схемы -- фотолитография -- литографические системы -- наноимпринт-литография -- фоторезисты -- электронорезисты -- рентгенорезисты -- травление (нанолитография)
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Электроника : наука, технология, бизнес [Электронный
ресурс] : [научно-технический журнал]/ гл. ред. И. Шахнович. -
Москва : Техносфера. - Выходит раз в два месяца
Рубрики:
электроника -- периодические издания
Кл.слова (ненормированные): средства отображения информации -- оптоэлектроника -- телекоммуникации -- связь (электроника) -- плазменные технологии -- обработка сигналов (электроника) -- нанотехнологии (электроника)
Зарегистрированы поступления:
1980 1997 1998 1999 2001 2003 2005
| Шифр: vtls000678542 (Журнал) |
Рубрики:
электроника -- периодические издания
Кл.слова (ненормированные): средства отображения информации -- оптоэлектроника -- телекоммуникации -- связь (электроника) -- плазменные технологии -- обработка сигналов (электроника) -- нанотехнологии (электроника)
Зарегистрированы поступления:
1980 1997 1998 1999 2001 2003 2005
3.
Подробнее
Электронная промышленность [Электронный ресурс] :
научно-информационный журнал/ гл. ред. Ю. А. Козлов. - Москва :
Электроника. - Журнал издается с 1970 г. ; в настоящее время гл.
ред. Б. Н. Авдонин ; адрес электронной почты : instel@instel.ru. -
Выходит ежемесячно. - ISSN 0207-6357
Рубрики:
электроника
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- полупроводниковые приборы -- наукоемкие технологии (электроника) -- зарубежная электроника -- нанотехнологии (электроника)
Зарегистрированы поступления:
1973
| Шифр: vtls000678565 (Журнал) |
Рубрики:
электроника
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- полупроводниковые приборы -- наукоемкие технологии (электроника) -- зарубежная электроника -- нанотехнологии (электроника)
Зарегистрированы поступления:
1973
Page 1, Results: 3