Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324. . - ISBN 5283039390
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324. . - ISBN 5283039390
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 1