Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 6
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Получение и исследование наноструктур : лабораторный практикум по нанотехнологиям / [А. А. Евдокимов, Е. Д. Мишина, В. О. Вальднер и др.] ; под ред. А. С. Сигова. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 146 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр. : с. 143-146
Авт. указ. на обор. тит. л.
Рубрики: нанотехнологии--учебные издания для вузов
наноструктуры--исследование--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные структуры -- наночастицы золота -- наночастицы серебра -- исследование наночастиц -- исследование наноструктур -- метаматериалы плазменные -- нанокомпозиты -- зондовая микроскопия -- наноперемещения -- практикумы учебные (нанотехнологии) -- плазмохимическое травление
Доп.точки доступа:
Евдокимов, Анатолий Аркадьевич
Мишина, Елена Дмитриевна
Вальднер, Вадим Олегович
Сигов, Александр Сергеевич \ред.\
Экземпляры всего: 2
Абонемент учебной и научной литературы (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (2)
Получение и исследование наноструктур : лабораторный практикум по нанотехнологиям / [А. А. Евдокимов, Е. Д. Мишина, В. О. Вальднер и др.] ; под ред. А. С. Сигова. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 146 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр. : с. 143-146
Авт. указ. на обор. тит. л.
| УДК |
Рубрики: нанотехнологии--учебные издания для вузов
наноструктуры--исследование--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные структуры -- наночастицы золота -- наночастицы серебра -- исследование наночастиц -- исследование наноструктур -- метаматериалы плазменные -- нанокомпозиты -- зондовая микроскопия -- наноперемещения -- практикумы учебные (нанотехнологии) -- плазмохимическое травление
Доп.точки доступа:
Евдокимов, Анатолий Аркадьевич
Мишина, Елена Дмитриевна
Вальднер, Вадим Олегович
Сигов, Александр Сергеевич \ред.\
Экземпляры всего: 2
Абонемент учебной и научной литературы (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (2)
2.
Подробнее
Яфаров, Равиль Кяшшафович.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 205-216. - ISBN 9785922111508
ББК 30.6 + 32.844.1
Рубрики: плазма--СВЧ плазменные устройства--нанотехнологии--научные издания
нанотехнологии--плазменные устройства--научные издания
наноэлектроника--научные издания
Кл.слова (ненормированные):
СВЧ плазменные устройства -- динамика плазмы -- электромагнитные волны в плазме -- низкотемпературная плазма -- физика плазмы -- диффузионные процессы в плазме -- микроволновые плазменные устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Яфаров, Равиль Кяшшафович.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 205-216. - ISBN 9785922111508
| УДК |
Рубрики: плазма--СВЧ плазменные устройства--нанотехнологии--научные издания
нанотехнологии--плазменные устройства--научные издания
наноэлектроника--научные издания
Кл.слова (ненормированные):
СВЧ плазменные устройства -- динамика плазмы -- электромагнитные волны в плазме -- низкотемпературная плазма -- физика плазмы -- диффузионные процессы в плазме -- микроволновые плазменные устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
3.
Подробнее
Ефремов, Александр Михайлович.
Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2012. - 215 с. : табл., ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце гл.. - ISBN 9785922114066
Рубрики: плазма (физика) низкотемпературная--кинетика--монографии
плазмохимические реакции--монографии
газовые разряды в хлоре--монографии
электронные приборы--производство--плазменные методы--монографии
травление--применение в производстве микросхем--монографии
Кл.слова (ненормированные):
кинетика плазмохимических процессов -- излучение разряда плазмы в хлоре -- низкотемпературная неравновесная газоразрядная плазма -- травление в плазме газового разряда -- электрические разряды в галогенсодержащих газах -- плазмохимия -- травление меди в хлоре -- гетерогенные плазменные процессы -- плазмохимическое травление неорганических материалов -- травление кремния в хлоре -- реакции в электрических разрядах -- плазменное травление -- плазмохимические технологии, применение -- плазма хлора, физико-химические процессы
Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Ефремов, Александр Михайлович.
Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2012. - 215 с. : табл., ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце гл.. - ISBN 9785922114066
| УДК |
Рубрики: плазма (физика) низкотемпературная--кинетика--монографии
плазмохимические реакции--монографии
газовые разряды в хлоре--монографии
электронные приборы--производство--плазменные методы--монографии
травление--применение в производстве микросхем--монографии
Кл.слова (ненормированные):
кинетика плазмохимических процессов -- излучение разряда плазмы в хлоре -- низкотемпературная неравновесная газоразрядная плазма -- травление в плазме газового разряда -- электрические разряды в галогенсодержащих газах -- плазмохимия -- травление меди в хлоре -- гетерогенные плазменные процессы -- плазмохимическое травление неорганических материалов -- травление кремния в хлоре -- реакции в электрических разрядах -- плазменное травление -- плазмохимические технологии, применение -- плазма хлора, физико-химические процессы
Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
4.
Подробнее
Чесноков, Д. В.
Лазерное формирование наноразмерных структур / Д. В. Чесноков, В. В. Чесноков // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 52, N 6 (2009), С. 69-74. - Библиогр.: с. 74 (8 назв. ). - Специальный выпуск: Актуальные проблемы полупроводниковой фотоэлектроники и систем обработки оптической информации/ Под ред. акад. РАН А. Л. Асеева и д-ра техн. наук, проф. В. Б. Шлишевского
ББК 34.23/25 + 32.847 + 22.333
+ 24.55
Рубрики: Технология металлов
Металловедение цветных металлов и сплавов
Радиоэлектроника
Импульсные устройства
Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Химия
Химия лазеров
Кл.слова (ненормированные):
металлические наноиглы -- многослойные тонкопленочные структуры на подложках -- кремниевые пластины -- лазерное облучение -- нанесение пленки золота -- плазмохимическое травление -- наносекундные импульсы -- нелинейно-оптические процессы -- гидродинамические эффекты -- нанотехнологии
Аннотация: Рассмотрены перспективные методы получения упорядоченных массивов наноструктур при использовании относительно недорогой лазерной техники с наносекундной длительностью импульса. Представлены результаты исследований по формированию неупорядоченного массива металлических наноигл наносекундным (20 нс) лазерным облучением хромовой пленки, расположенной вблизи поверхности кремниевой окисленной пластины.
Доп.точки доступа:
Чесноков, В. В.
Чесноков, Д. В.
Лазерное формирование наноразмерных структур / Д. В. Чесноков, В. В. Чесноков // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 52, N 6 (2009), С. 69-74. - Библиогр.: с. 74 (8 назв. ). - Специальный выпуск: Актуальные проблемы полупроводниковой фотоэлектроники и систем обработки оптической информации/ Под ред. акад. РАН А. Л. Асеева и д-ра техн. наук, проф. В. Б. Шлишевского
| УДК |
Рубрики: Технология металлов
Металловедение цветных металлов и сплавов
Радиоэлектроника
Импульсные устройства
Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Химия
Химия лазеров
Кл.слова (ненормированные):
металлические наноиглы -- многослойные тонкопленочные структуры на подложках -- кремниевые пластины -- лазерное облучение -- нанесение пленки золота -- плазмохимическое травление -- наносекундные импульсы -- нелинейно-оптические процессы -- гидродинамические эффекты -- нанотехнологии
Аннотация: Рассмотрены перспективные методы получения упорядоченных массивов наноструктур при использовании относительно недорогой лазерной техники с наносекундной длительностью импульса. Представлены результаты исследований по формированию неупорядоченного массива металлических наноигл наносекундным (20 нс) лазерным облучением хромовой пленки, расположенной вблизи поверхности кремниевой окисленной пластины.
Доп.точки доступа:
Чесноков, В. В.
5.
Подробнее
Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям : учебное пособие / [А. А. Евдокимов, Е. Д. Мишина, В. О. Вальднер и др.] ; под ред. А. С. Сигова. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 146 с. : ил., табл., схем. - (Нанотехнологии). - Библиогр. : с. 143-146. - Авт. указ. на обор. тит. л.. - ISBN 9785996302284
Рубрики: нанотехнологии--учебные издания для вузов
наноструктуры--исследование--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные структуры -- наночастицы золота -- наночастицы серебра -- исследование наночастиц -- исследование наноструктур -- метаматериалы плазменные -- зондовая микроскопия -- плазмохимическое травление -- наноперемещения -- практикумы учебные (нанотехнологии) -- нанокомпозиты
Доп.точки доступа:
Евдокимов, Анатолий Аркадьевич
Мишина, Елена Дмитриевна
Вальднер, Вадим Олегович
Сигов, Александр Сергеевич \ред.\
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям : учебное пособие / [А. А. Евдокимов, Е. Д. Мишина, В. О. Вальднер и др.] ; под ред. А. С. Сигова. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 146 с. : ил., табл., схем. - (Нанотехнологии). - Библиогр. : с. 143-146. - Авт. указ. на обор. тит. л.. - ISBN 9785996302284
| УДК |
Рубрики: нанотехнологии--учебные издания для вузов
наноструктуры--исследование--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные структуры -- наночастицы золота -- наночастицы серебра -- исследование наночастиц -- исследование наноструктур -- метаматериалы плазменные -- зондовая микроскопия -- плазмохимическое травление -- наноперемещения -- практикумы учебные (нанотехнологии) -- нанокомпозиты
Доп.точки доступа:
Евдокимов, Анатолий Аркадьевич
Мишина, Елена Дмитриевна
Вальднер, Вадим Олегович
Сигов, Александр Сергеевич \ред.\
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
6.
Подробнее
И 221
Ивановский, Геннадий Фомич.
Ионно-плазменная обработка материалов / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - Москва : Радио и связь, 1986. - 230, [2] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 226-231
Кл.слова (ненормированные):
бомбардировка -- распыление -- плазмохимическое травление -- пленочные покрытия -- ионно-лучевая очистка -- полирование -- вакуум
Доп.точки доступа:
Петров, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
И 221
Ивановский, Геннадий Фомич.
Ионно-плазменная обработка материалов / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - Москва : Радио и связь, 1986. - 230, [2] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 226-231
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
бомбардировка -- распыление -- плазмохимическое травление -- пленочные покрытия -- ионно-лучевая очистка -- полирование -- вакуум
Доп.точки доступа:
Петров, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 6