Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 8
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Обработка полупроводниковых материалов / [В. И. Карбань, П. Кой, В. В. Рогов и др.] ; под ред. Н. В. Новикова, В. Бертольди ; Академия наук Украинской ССР, Институт сверхтвердых материалов. ; Академия наук Украинской ССР, Институт сверхтвердых материалов. - Киев : Наукова думка, 1982. - 256 c. : ил., табл. - Библиогр. : с. 235-252. - Авт. указ. на обор. тит. л.
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые пластины -- очистка пластин -- алмазное полирование -- контроль качества поверхности
Доп.точки доступа:
Карбань, В. И.
Кой, П.
Рогов, В. В.
Новикова, Н. В. \ред.\
Бертольди, В. \ред.\
Академия наук Украинской ССР. Институт сверхтвердых материалов
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Обработка полупроводниковых материалов / [В. И. Карбань, П. Кой, В. В. Рогов и др.] ; под ред. Н. В. Новикова, В. Бертольди ; Академия наук Украинской ССР, Институт сверхтвердых материалов. ; Академия наук Украинской ССР, Институт сверхтвердых материалов. - Киев : Наукова думка, 1982. - 256 c. : ил., табл. - Библиогр. : с. 235-252. - Авт. указ. на обор. тит. л.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые пластины -- очистка пластин -- алмазное полирование -- контроль качества поверхности
Доп.точки доступа:
Карбань, В. И.
Кой, П.
Рогов, В. В.
Новикова, Н. В. \ред.\
Бертольди, В. \ред.\
Академия наук Украинской ССР. Институт сверхтвердых материалов
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389. - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410
Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов
нанотехнологии--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389. - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410
| УДК |
Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов
нанотехнологии--учебные издания для вузов
Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
3.
Подробнее
Запорожский, Владимир Петрович.
Обработка полупроводниковых материалов : учебное пособие / В. П. Запорожский, Б. А. Лапшинов. - Москва : Высшая школа, 1988. - 184 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 183.
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- фотолитография -- изготовление фотошаблонов
Доп.точки доступа:
Лапшинов, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 2
Абонемент 402 (2)
Свободны: Абонемент 402 (2)
Запорожский, Владимир Петрович.
Обработка полупроводниковых материалов : учебное пособие / В. П. Запорожский, Б. А. Лапшинов. - Москва : Высшая школа, 1988. - 184 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 183.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- фотолитография -- изготовление фотошаблонов
Доп.точки доступа:
Лапшинов, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 2
Абонемент 402 (2)
Свободны: Абонемент 402 (2)
4.
Подробнее
Концевой, Юлий Абрамович.
Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур / Ю. А. Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов. - Москва : Радио и связь, 1982. - 240 с. : ил. - Библиогр. : с. 215-235.
Кл.слова (ненормированные):
электротехника -- электрические машины -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- пластичность монокристаллов
Доп.точки доступа:
Литвинов, Юрий Михайлович
Фаттахов, Энвер Абзалевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Концевой, Юлий Абрамович.
Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур / Ю. А. Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов. - Москва : Радио и связь, 1982. - 240 с. : ил. - Библиогр. : с. 215-235.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
электротехника -- электрические машины -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- пластичность монокристаллов
Доп.точки доступа:
Литвинов, Юрий Михайлович
Фаттахов, Энвер Абзалевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
5.
Подробнее
Голото, Иван Данилович.
Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров. - Москва : Энергия, 1975. - 208, [1] с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 203-207
Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- полупроводниковые приборы -- интегральные схемы -- полупроводниковые пластины -- очистка газов
Доп.точки доступа:
Докучаев, Борис Павлович
Колмогоров, Георгий Дмитриевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Голото, Иван Данилович.
Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров. - Москва : Энергия, 1975. - 208, [1] с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 203-207
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- полупроводниковые приборы -- интегральные схемы -- полупроводниковые пластины -- очистка газов
Доп.точки доступа:
Докучаев, Борис Павлович
Колмогоров, Георгий Дмитриевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
6.
Подробнее
Булкин, Анатолий Дмитриевич.
Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов : учебник для техникумов / А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик. - Москва : Энергоатомиздат, 1984. - 255 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 249
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- абразивные материалы -- полупроводниковые пластины -- химическая обработка пластин -- окисление -- фотолитография -- силовые полупроводниковые приборы
Доп.точки доступа:
Якивчик, Николай Иванович
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Булкин, Анатолий Дмитриевич.
Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов : учебник для техникумов / А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик. - Москва : Энергоатомиздат, 1984. - 255 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 249
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- абразивные материалы -- полупроводниковые пластины -- химическая обработка пластин -- окисление -- фотолитография -- силовые полупроводниковые приборы
Доп.точки доступа:
Якивчик, Николай Иванович
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
7.
Подробнее
Сажнев, С. В.
Механизм формирования полос скольжения в полупроводниковых пластинах при высокотемпературной обработке [Текст] / С. В. Сажнев, В. Н. Тимофеев, Х. А. Миркурбанов // Материаловедение. - N 4 (2004), С. 12-16
Кл.слова (ненормированные):
пластины -- напряжения -- термическая обработка -- температурные напряжения -- полупроводниковые пластины -- высокотемпературная обработка -- микротрещины -- деформации -- скольжение -- полосы скольжения -- быстрая термическая обработка -- эпитаксиальное наращивание -- наращивание -- пластические деформации
Аннотация: На основе анализа напряженного состояния обсуждается механизм формирования линий скольжения в полупроводниковой пластине в условиях перепада температур по поверхности при высокотемпературной обработке в процессе эпитаксии.
Доп.точки доступа:
Тимофеев, В. Н.
Миркурбанов, Х. А.
Сажнев, С. В.
Механизм формирования полос скольжения в полупроводниковых пластинах при высокотемпературной обработке [Текст] / С. В. Сажнев, В. Н. Тимофеев, Х. А. Миркурбанов // Материаловедение. - N 4 (2004), С. 12-16
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
пластины -- напряжения -- термическая обработка -- температурные напряжения -- полупроводниковые пластины -- высокотемпературная обработка -- микротрещины -- деформации -- скольжение -- полосы скольжения -- быстрая термическая обработка -- эпитаксиальное наращивание -- наращивание -- пластические деформации
Аннотация: На основе анализа напряженного состояния обсуждается механизм формирования линий скольжения в полупроводниковой пластине в условиях перепада температур по поверхности при высокотемпературной обработке в процессе эпитаксии.
Доп.точки доступа:
Тимофеев, В. Н.
Миркурбанов, Х. А.
8.
Подробнее
Б 955
Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 168 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 162-166.. - ISBN 5256000063
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- методы измерения -- оптические микроскопы -- фотоэлектрические методы измерения -- дифракционные методы измерения -- полупроводниковые пластины
Доп.точки доступа:
Колгин, Евгений Алексеевич
Котлецов, Борис Николаевич
Экземпляры всего: 3
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Б 955
Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 168 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 162-166.. - ISBN 5256000063
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- методы измерения -- оптические микроскопы -- фотоэлектрические методы измерения -- дифракционные методы измерения -- полупроводниковые пластины
Доп.точки доступа:
Колгин, Евгений Алексеевич
Котлецов, Борис Николаевич
Экземпляры всего: 3
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Page 1, Results: 8