Электронный каталог

    Сканирующий эллипсометрический комплекс МИКРОСКАН-3М / С. В. Рыхлицкий [и др. ] // Приборы и техника эксперимента. - N 3 (2009), С. 155-156. - Библиогр.: с. 156 (3 назв. )

УДК

621.7

ББК 30.68

Рубрики: Техника

   Обработка материалов

Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСКАН-3М -- оптические параметры -- сканирующие комплексы -- эллипсометрические комплексы -- тонкопленочные слои -- эллипсометрические измерения
Аннотация: Комплекс предназначен для измерения оптических параметров поверхностных микроструктур, а также распределения оптических свойств материалов и толщин тонкопленочных слоев по поверхности образца с высоким пространственным разрешением.
Доп.точки доступа:
Рыхлицкий, С. В.
Спесивцев, В. А.
Швец, В. А.
Прокопьев, В. Ю.