Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 3
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Ледовской, Вячеслав Павлович.
Процессы электронно-ионной технологии : конспект лекций / В. П. Ледовской, В. Ф. Попов, Э. Зайдовски [и др.] ; Ленинградский электротехнический институт. - Ленинград : [б. и.], 1978. - 66 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 65
Кл.слова (ненормированные):
электронно-ионная технология -- тонкопленочная технология -- свойства тонких пленок -- электронная литография -- устройства ионного распыления -- устройства ионного легирования
Доп.точки доступа:
Попов, Владимир Федорович
Зайдовски, Экарт
Ленинградский электротехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Ледовской, Вячеслав Павлович.
Процессы электронно-ионной технологии : конспект лекций / В. П. Ледовской, В. Ф. Попов, Э. Зайдовски [и др.] ; Ленинградский электротехнический институт. - Ленинград : [б. и.], 1978. - 66 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 65
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
электронно-ионная технология -- тонкопленочная технология -- свойства тонких пленок -- электронная литография -- устройства ионного распыления -- устройства ионного легирования
Доп.точки доступа:
Попов, Владимир Федорович
Зайдовски, Экарт
Ленинградский электротехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Джоветт, Чарльз Е.
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники / Ч. Е. Джоветт, пер. с англ. М. И. Кондакова. - Москва : Металлургия, 1980. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 106-111.
Парал. тит. л. на англ. яз.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микросхемы -- пленочные материалы -- тонкопленочная технология -- фотолитография -- толстопленочные схемы -- интегральные микросхемы -- резисторы -- микроволновые устройства
Доп.точки доступа:
Кондаков, М. И. \пер.\
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Джоветт, Чарльз Е.
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники / Ч. Е. Джоветт, пер. с англ. М. И. Кондакова. - Москва : Металлургия, 1980. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 106-111.
Парал. тит. л. на англ. яз.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микросхемы -- пленочные материалы -- тонкопленочная технология -- фотолитография -- толстопленочные схемы -- интегральные микросхемы -- резисторы -- микроволновые устройства
Доп.точки доступа:
Кондаков, М. И. \пер.\
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
3.
Подробнее
Электроосажденные пленки : [сборник] / Калининский государственный педагогический институт ; Калининский государственный педагогический институт ; [ред. кол. : А. И. Баранов (отв. ред.) и др.]. - Калинин : [б. и.], 1970. - 204 с. : ил. - (Ученые записки / Калининский государственный педагогический институт ; т. 79.). - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные):
физика тонких пленок -- тонкопленочная технология -- остаточные напряжения -- абсолютная величина напряжений -- напряжения в пленках электроосажденных металлов -- гальваника -- пленки электроосажденные
Доп.точки доступа:
Баранов, А. И. \ред.\
Калининский государственный педагогический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Электроосажденные пленки : [сборник] / Калининский государственный педагогический институт ; Калининский государственный педагогический институт ; [ред. кол. : А. И. Баранов (отв. ред.) и др.]. - Калинин : [б. и.], 1970. - 204 с. : ил. - (Ученые записки / Калининский государственный педагогический институт ; т. 79.). - Библиогр. в конце ст.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
физика тонких пленок -- тонкопленочная технология -- остаточные напряжения -- абсолютная величина напряжений -- напряжения в пленках электроосажденных металлов -- гальваника -- пленки электроосажденные
Доп.точки доступа:
Баранов, А. И. \ред.\
Калининский государственный педагогический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 3