Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Потелов, В. В.
Получение тонких слоев диоксида кремния на кварце / В. В. Потелов // Стекло и керамика. - N 2 (2009), С. 9-11. - Библиогр.: с. 11 (3 назв. )
ББК 35.20
Рубрики: Химическая технология
Технология неорганических веществ
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные слои -- диоксид кремния -- поверхность кварца -- тонкослойное покрытие -- кремнийсодержащее покрытие -- исходные реактивы
Аннотация: Исследованы возможности осаждения тонких слоев диоксида кремния на поверхности кварца в зависимости от химического состава исходных реактивов и условий проведения процесса.
Потелов, В. В.
Получение тонких слоев диоксида кремния на кварце / В. В. Потелов // Стекло и керамика. - N 2 (2009), С. 9-11. - Библиогр.: с. 11 (3 назв. )
| УДК |
Рубрики: Химическая технология
Технология неорганических веществ
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные слои -- диоксид кремния -- поверхность кварца -- тонкослойное покрытие -- кремнийсодержащее покрытие -- исходные реактивы
Аннотация: Исследованы возможности осаждения тонких слоев диоксида кремния на поверхности кварца в зависимости от химического состава исходных реактивов и условий проведения процесса.
Page 1, Results: 1