Skip to content
Choice of metadata ЭБС Znanium
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Бодров, Е. Э.
Основы технологии электронной компонентной базы [Текст] : Учебное пособие / Е.Э. Бодров. - Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 204 с. . - ISBN 978-5-9729-0846-2
Содержание:
ББК 3284
Рубрики: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь
Аннотация: Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процесса производства. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Бодров, Е. Э.
Основы технологии электронной компонентной базы [Текст] : Учебное пособие / Е.Э. Бодров. - Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 204 с. . - ISBN 978-5-9729-0846-2
Содержание:
| УДК |
Рубрики: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь
Аннотация: Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процесса производства. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Page 1, Results: 1