Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Новиков, Ю. А.
Определение зависимости диаметра электронного зонда РЭМ от тока пучка [Текст] / Ю. А. Новиков, А. В. Раков, М. Н. Филиппов // Измерительная техника. - N 5 (2004), С. 13-16
Кл.слова (ненормированные):
микроскопы -- РЭМ -- электронные микроскопы -- зонды -- электронные зонды -- пучки электронов -- диаметры зондов -- растровые электронные микроскопы -- токи пучков -- узкие пучки электронов -- электроны
Аннотация: Разработан метод измерения зависимости диаметра электронного зонда d растрового электронного микроскопа (РЭМ) от тока пучка J. Найденная зависимость для РЭМ CAMCAN CS-44 оказалась d (J) -J&1/4;, тогда как теория формирования электронного зонда дает d (J) -J&3/8;. Рассмотрены причины этих различий.
Доп.точки доступа:
Раков, А. В.
Филиппов, М. Н.
Новиков, Ю. А.
Определение зависимости диаметра электронного зонда РЭМ от тока пучка [Текст] / Ю. А. Новиков, А. В. Раков, М. Н. Филиппов // Измерительная техника. - N 5 (2004), С. 13-16
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроскопы -- РЭМ -- электронные микроскопы -- зонды -- электронные зонды -- пучки электронов -- диаметры зондов -- растровые электронные микроскопы -- токи пучков -- узкие пучки электронов -- электроны
Аннотация: Разработан метод измерения зависимости диаметра электронного зонда d растрового электронного микроскопа (РЭМ) от тока пучка J. Найденная зависимость для РЭМ CAMCAN CS-44 оказалась d (J) -J&1/4;, тогда как теория формирования электронного зонда дает d (J) -J&3/8;. Рассмотрены причины этих различий.
Доп.точки доступа:
Раков, А. В.
Филиппов, М. Н.
Page 1, Results: 1