Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / [Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др.] ; под ред. Дж. Р. Брюэра ; [пер. с англ. В. В. Копицына, А. Н. Маркова]. - Москва : Радио и связь, 1984. - 332 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-328.
Парал. тит. л. на англ. яз. Авт. указ. на обор. тит. л.
Кл.слова (ненормированные):
литография электронно-лучевая -- установки электронно-лучевые -- полупроводниковые приборы -- интегральные схемы -- фотолитография -- электронно-оптическая колонна -- шаблоны
Доп.точки доступа:
Гринич, Джеймс С
Херриот, Дональд Р
Брюэр, Джордж Р \ред.\
Копицын, В. В. \пер.\
Марков, А. Н. \пер.\
Экземпляры всего: 2
Абонемент учебной и научной литературы (402) (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / [Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др.] ; под ред. Дж. Р. Брюэра ; [пер. с англ. В. В. Копицына, А. Н. Маркова]. - Москва : Радио и связь, 1984. - 332 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-328.
Парал. тит. л. на англ. яз. Авт. указ. на обор. тит. л.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
литография электронно-лучевая -- установки электронно-лучевые -- полупроводниковые приборы -- интегральные схемы -- фотолитография -- электронно-оптическая колонна -- шаблоны
Доп.точки доступа:
Гринич, Джеймс С
Херриот, Дональд Р
Брюэр, Джордж Р \ред.\
Копицын, В. В. \пер.\
Марков, А. Н. \пер.\
Экземпляры всего: 2
Абонемент учебной и научной литературы (402) (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (1), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 1