Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 41
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Родионов, Юрий Анатольевич.
Литография в производстве интегральных микросхем : учебное пособие для профессионально-технических училищ / Ю. А. Родионов. - Минск : Дизайн ПРО, 1998. - 96 c. : ил. - Библиогр. : с. 95.. - ISBN 9856182646
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- литография -- производство интегральных микросхем -- фотолитография -- рентгеновская литография -- электронная литография
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Родионов, Юрий Анатольевич.
Литография в производстве интегральных микросхем : учебное пособие для профессионально-технических училищ / Ю. А. Родионов. - Минск : Дизайн ПРО, 1998. - 96 c. : ил. - Библиогр. : с. 95.. - ISBN 9856182646
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- литография -- производство интегральных микросхем -- фотолитография -- рентгеновская литография -- электронная литография
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5256006991
Рубрики: микроэлектроника--справочники
микроэлектронные приборы--производство--справочники
Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5256006991
| УДК |
Рубрики: микроэлектроника--справочники
микроэлектронные приборы--производство--справочники
Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
3.
Подробнее
Домина Н.Г.
Фототравление поверхности меди с использованием галогеносодержащих полимерных композиций : Автореф. дис... канд. хим. наук: 02.00.04 / Домина Н.Г. - Барнаул : Б.и., 2003. - 18 c.
Кл.слова (ненормированные):
физическая химия -- металлооптика -- фотолитография -- гетерофазное окисление -- полимер -- фототравление -- фотосенсибилизация -- фотолиз -- авторефераты -- НЛ
Экземпляры всего: 1
Ч/З о. Русский (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1)
Домина Н.Г.
Фототравление поверхности меди с использованием галогеносодержащих полимерных композиций : Автореф. дис... канд. хим. наук: 02.00.04 / Домина Н.Г. - Барнаул : Б.и., 2003. - 18 c.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
физическая химия -- металлооптика -- фотолитография -- гетерофазное окисление -- полимер -- фототравление -- фотосенсибилизация -- фотолиз -- авторефераты -- НЛ
Экземпляры всего: 1
Ч/З о. Русский (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1)
4.
Подробнее
Введение в микроэлектронику / под ред. И. П. Степаненко ; пер. с англ. В. И. Барышева, Н. К. Барышевой. - Москва : Советское радио, 1968. - 320 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл. - Парал. тит. л. на англ. яз.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные модули -- системы микроэлектронные -- интегральные схемы -- физика высокого вакуума -- микроскопия электронная -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Степаненко, И. П. \ред.\
Барышев, В. И. \пер.\
Барышева, Н. К. \пер.\
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (1)
Введение в микроэлектронику / под ред. И. П. Степаненко ; пер. с англ. В. И. Барышева, Н. К. Барышевой. - Москва : Советское радио, 1968. - 320 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл. - Парал. тит. л. на англ. яз.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные модули -- системы микроэлектронные -- интегральные схемы -- физика высокого вакуума -- микроскопия электронная -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Степаненко, И. П. \ред.\
Барышев, В. И. \пер.\
Барышева, Н. К. \пер.\
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (1)
5.
Подробнее
Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС : учебное пособие / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев [и др.] ; Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; Московский институт электронной техники. - Москва : [б. и.], 1977. - 129 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 126
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- фотолитография -- диффузия примесей -- эпитаксиальное наращивание пленок -- металлизация -- фоторезисты -- ионизация примесей
Доп.точки доступа:
Глазов, В. М.
Гурская, Л. В.
Игнатьев, В. В.
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС : учебное пособие / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев [и др.] ; Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; Московский институт электронной техники. - Москва : [б. и.], 1977. - 129 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 126
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- фотолитография -- диффузия примесей -- эпитаксиальное наращивание пленок -- металлизация -- фоторезисты -- ионизация примесей
Доп.точки доступа:
Глазов, В. М.
Гурская, Л. В.
Игнатьев, В. В.
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
6.
Подробнее
Медведев, А. М.
Печатные платы. Конструкции и материалы / А. Медведев. - Москва : Техносфера, 2005. - 302 с. : ил. - (Мир электроники ; VII, 07). - Библиогр. : с. 301-302. - ISBN 5948360261
Рубрики: печатные платы--производство--монография
Кл.слова (ненормированные):
изготовление печатных плат -- монтаж печатных плат -- конструкции печатных плат -- шаблоны печатных плат -- фольгированные материалы -- полиэфиры -- олигоэфиры -- наполнители композиционных материалов -- фотошаблоны печатных плат -- фотолитография -- трафаретная печать -- офсетная печать -- процессы печати
Экземпляры всего: 10
Абонемент учебной и научной литературы (402) (7), Книгохранение (1), Ч/З о. Русский (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (7), Книгохранение (1), Ч/З о. Русский (2)
Медведев, А. М.
Печатные платы. Конструкции и материалы / А. Медведев. - Москва : Техносфера, 2005. - 302 с. : ил. - (Мир электроники ; VII, 07). - Библиогр. : с. 301-302. - ISBN 5948360261
| УДК |
Рубрики: печатные платы--производство--монография
Кл.слова (ненормированные):
изготовление печатных плат -- монтаж печатных плат -- конструкции печатных плат -- шаблоны печатных плат -- фольгированные материалы -- полиэфиры -- олигоэфиры -- наполнители композиционных материалов -- фотошаблоны печатных плат -- фотолитография -- трафаретная печать -- офсетная печать -- процессы печати
Экземпляры всего: 10
Абонемент учебной и научной литературы (402) (7), Книгохранение (1), Ч/З о. Русский (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (7), Книгохранение (1), Ч/З о. Русский (2)
7.
Подробнее
Березин, Геннадий Николаевич.
Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никтин, Р. А. Сурис ; [ред. кол. : В. М. Пролейко (отв. ред.) и др.]. - Москва : Радио и связь, 1982. - 103 с. : табл., ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 33). - Библиогр. : с. 98-101
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- Френеля-Кирхгофа дифракционная теория -- дифракционные искажения -- контактная печать -- дифракция на полуплоскости -- эффекты коллективной дифракции -- печать с микрозазором
Доп.точки доступа:
Никитин, Аркадий Викторович
Сурис, Роберт Арнольдович
Пролейко, В. М. \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Березин, Геннадий Николаевич.
Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никтин, Р. А. Сурис ; [ред. кол. : В. М. Пролейко (отв. ред.) и др.]. - Москва : Радио и связь, 1982. - 103 с. : табл., ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 33). - Библиогр. : с. 98-101
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- Френеля-Кирхгофа дифракционная теория -- дифракционные искажения -- контактная печать -- дифракция на полуплоскости -- эффекты коллективной дифракции -- печать с микрозазором
Доп.точки доступа:
Никитин, Аркадий Викторович
Сурис, Роберт Арнольдович
Пролейко, В. М. \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
8.
Подробнее
Курносов, Анатолий Иванович.
Технология и оборудование производства полупроводниковых приборов : учебник для техникумов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Изд. 2-е, доп. и перераб. - Ленинград : Судостроение, 1971. - 263 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 261
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- фотолитография -- эпитаксия -- элионика -- метод диффузии -- метод сплавления
Доп.точки доступа:
Юдин, Владимир Васильевич
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
Курносов, Анатолий Иванович.
Технология и оборудование производства полупроводниковых приборов : учебник для техникумов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Изд. 2-е, доп. и перераб. - Ленинград : Судостроение, 1971. - 263 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 261
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- полупроводниковые приборы -- фотолитография -- эпитаксия -- элионика -- метод диффузии -- метод сплавления
Доп.точки доступа:
Юдин, Владимир Васильевич
Экземпляры всего: 2
Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент 402 (1)
9.
Подробнее
Гимпельсон, Владимир Давидович.
Технология гибриднопленочных микросхем : учебное пособие / В. Д. Гимпельсон, В. С. Локтаев. ; Московский авиационный технологический институт, кафедра технологии производстав радиоаппаратуры ; Московский авиационный технологический институт, Кафедра технологии производстав радиоаппаратуры. - Москва : [б. и.], 1971. - 105 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 103-104
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микросхемы гибриднопленочные -- микросхемы тонкопленочные -- элементы микросхем -- фотолитография -- лазерная подгонка -- микросварка -- микроконтактирование -- герметизация микросхем
Доп.точки доступа:
Локтаев, Владимир Степанович
Московский авиационный технологический институт. Кафедра технологии производстав радиоаппаратуры
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Гимпельсон, Владимир Давидович.
Технология гибриднопленочных микросхем : учебное пособие / В. Д. Гимпельсон, В. С. Локтаев. ; Московский авиационный технологический институт, кафедра технологии производстав радиоаппаратуры ; Московский авиационный технологический институт, Кафедра технологии производстав радиоаппаратуры. - Москва : [б. и.], 1971. - 105 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 103-104
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микросхемы гибриднопленочные -- микросхемы тонкопленочные -- элементы микросхем -- фотолитография -- лазерная подгонка -- микросварка -- микроконтактирование -- герметизация микросхем
Доп.точки доступа:
Локтаев, Владимир Степанович
Московский авиационный технологический институт. Кафедра технологии производстав радиоаппаратуры
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
10.
Подробнее
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин [и др.] ; [науч. ред. В. Н. Лозовский]. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 110 - 111.. - ISBN 9785903286201
ББК 37.83
Рубрики: литография--нанотехнологии--монографии
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- оптическая литография -- электронно-лучевая литография -- рентгенолитография -- ионолитография -- импринт-литография -- микроконтактная печать -- зондовая литография -- нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна
Лунин, Леонид Сергеевич
Лозовский, Владимир Николаевич \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин [и др.] ; [науч. ред. В. Н. Лозовский]. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 110 - 111.. - ISBN 9785903286201
Рубрики: литография--нанотехнологии--монографии
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- оптическая литография -- электронно-лучевая литография -- рентгенолитография -- ионолитография -- импринт-литография -- микроконтактная печать -- зондовая литография -- нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна
Лунин, Леонид Сергеевич
Лозовский, Владимир Николаевич \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 41