Skip to content
Choice of metadata ЭБС Лань
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие для вузов / Ю. А. Родионов. - 3-е изд., стер. - Санкт-Петербург : Лань, 2023. - 220 с. . - ISBN 978-5-507-46956-7
Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки
. - https://e.lanbook.com/book/200492
ББК 32.85я73
Рубрики: Инженерно-технические науки--Электроника--Лань
Кл.слова (ненормированные):
электроника -- микроэлектроника -- микросхемы -- химические процессы -- химические технологии -- деионизованная вода -- химическая очистка поверхности -- подложка -- технологический слой -- удаление загрязнений -- фоторезист -- химическое травление -- кремний -- диоксид кремния -- нитрид кремния -- металлические пленки -- электрохимическое травление -- плазмохимическое травление -- химическое нанесение пленок -- химическое осаждение -- электрохимическое осаждение -- эпитаксия
Аннотация: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие для вузов / Ю. А. Родионов. - 3-е изд., стер. - Санкт-Петербург : Лань, 2023. - 220 с. . - ISBN 978-5-507-46956-7
Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки
. - https://e.lanbook.com/book/200492
| УДК |
Рубрики: Инженерно-технические науки--Электроника--Лань
Кл.слова (ненормированные):
электроника -- микроэлектроника -- микросхемы -- химические процессы -- химические технологии -- деионизованная вода -- химическая очистка поверхности -- подложка -- технологический слой -- удаление загрязнений -- фоторезист -- химическое травление -- кремний -- диоксид кремния -- нитрид кремния -- металлические пленки -- электрохимическое травление -- плазмохимическое травление -- химическое нанесение пленок -- химическое осаждение -- электрохимическое осаждение -- эпитаксия
Аннотация: Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Page 1, Results: 1