Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвузовский тематический научный сборник / Таганрогский радиотехнический институт ; [ред. кол. : Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. - Таганрог : [б. и.], 1978 - .
вып. 4 / Таганрогский радиотехнический институт. - 175 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- легирование кремния -- электронно-ионная бомбардировка -- напыление тонких пленок -- двойникование кристаллов кремния -- диэлектрические пленки -- транзисторы кремниевые
Доп.точки доступа:
Сеченов, Д. А. \ед.\
Таганрогский радиотехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвузовский тематический научный сборник / Таганрогский радиотехнический институт ; [ред. кол. : Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. - Таганрог : [б. и.], 1978 - .
вып. 4 / Таганрогский радиотехнический институт. - 175 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- легирование кремния -- электронно-ионная бомбардировка -- напыление тонких пленок -- двойникование кристаллов кремния -- диэлектрические пленки -- транзисторы кремниевые
Доп.точки доступа:
Сеченов, Д. А. \ед.\
Таганрогский радиотехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 1