Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 2
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники ; Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]. - Москва : [б. и.], 1980. - 123 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- физико-химические процессы -- анизотропное травление кремния -- нанесение покрытий вольфрама -- фотостимуляция процесса нанесения покрытий -- эпитаксиальные слои арсенида галлия -- эпитаксиальные слои селенида кадмия
Доп.точки доступа:
Чистяков, Ю. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники ; Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; [отв. ред. Ю. Д. Чистяков]. - Москва : [б. и.], 1980. - 123 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- физико-химические процессы -- анизотропное травление кремния -- нанесение покрытий вольфрама -- фотостимуляция процесса нанесения покрытий -- эпитаксиальные слои арсенида галлия -- эпитаксиальные слои селенида кадмия
Доп.точки доступа:
Чистяков, Ю. Д. \ред.\
Московский институт электронной техники
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
2.
Подробнее
Черняев, Владимир Николаевич.
Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе / В. Н. Черняев, Л. В. Кожитов. - Москва : Энергия, 1974. - 231 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 215-229.
Кл.слова (ненормированные):
эпитаксиальные слои арсенида галлия -- эпитаксия -- полупроводниковые приборы -- радиоэлектронные устройства -- арсенид галлия
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Черняев, Владимир Николаевич.
Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе / В. Н. Черняев, Л. В. Кожитов. - Москва : Энергия, 1974. - 231 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 215-229.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
эпитаксиальные слои арсенида галлия -- эпитаксия -- полупроводниковые приборы -- радиоэлектронные устройства -- арсенид галлия
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 2