Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Березин, Геннадий Николаевич.
Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никтин, Р. А. Сурис ; [ред. кол. : В. М. Пролейко (отв. ред.) и др.]. - Москва : Радио и связь, 1982. - 103 с. : табл., ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 33). - Библиогр. : с. 98-101
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- Френеля-Кирхгофа дифракционная теория -- дифракционные искажения -- контактная печать -- дифракция на полуплоскости -- эффекты коллективной дифракции -- печать с микрозазором
Доп.точки доступа:
Никитин, Аркадий Викторович
Сурис, Роберт Арнольдович
Пролейко, В. М. \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Березин, Геннадий Николаевич.
Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никтин, Р. А. Сурис ; [ред. кол. : В. М. Пролейко (отв. ред.) и др.]. - Москва : Радио и связь, 1982. - 103 с. : табл., ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 33). - Библиогр. : с. 98-101
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- Френеля-Кирхгофа дифракционная теория -- дифракционные искажения -- контактная печать -- дифракция на полуплоскости -- эффекты коллективной дифракции -- печать с микрозазором
Доп.точки доступа:
Никитин, Аркадий Викторович
Сурис, Роберт Арнольдович
Пролейко, В. М. \ред.\
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)
Page 1, Results: 1