Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Ледовской, Вячеслав Павлович.
Процессы электронно-ионной технологии : конспект лекций / В. П. Ледовской, В. Ф. Попов, Э. Зайдовски [и др.] ; Ленинградский электротехнический институт. - Ленинград : [б. и.], 1978. - 66 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 65
Кл.слова (ненормированные):
электронно-ионная технология -- тонкопленочная технология -- свойства тонких пленок -- электронная литография -- устройства ионного распыления -- устройства ионного легирования
Доп.точки доступа:
Попов, Владимир Федорович
Зайдовски, Экарт
Ленинградский электротехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Ледовской, Вячеслав Павлович.
Процессы электронно-ионной технологии : конспект лекций / В. П. Ледовской, В. Ф. Попов, Э. Зайдовски [и др.] ; Ленинградский электротехнический институт. - Ленинград : [б. и.], 1978. - 66 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 65
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
электронно-ионная технология -- тонкопленочная технология -- свойства тонких пленок -- электронная литография -- устройства ионного распыления -- устройства ионного легирования
Доп.точки доступа:
Попов, Владимир Федорович
Зайдовски, Экарт
Ленинградский электротехнический институт
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 1