Skip to content
Choice of metadata Электронный каталог ДВФУ
Page 1, Results: 1
Report on unfulfilled requests: 0
1.
Подробнее
Б 955
Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 168 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 162-166. . - ISBN 5256000063
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- методы измерения -- оптические микроскопы -- фотоэлектрические методы измерения -- дифракционные методы измерения -- полупроводниковые пластины
Доп.точки доступа:
Колгин, Евгений Алексеевич
Котлецов, Борис Николаевич
Экземпляры всего: 3
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Б 955
Быстров, Юрий Александрович.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 168 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 162-166. . - ISBN 5256000063
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- методы измерения -- оптические микроскопы -- фотоэлектрические методы измерения -- дифракционные методы измерения -- полупроводниковые пластины
Доп.точки доступа:
Колгин, Евгений Алексеевич
Котлецов, Борис Николаевич
Экземпляры всего: 3
Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Свободны: Книгохранение (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2)
Page 1, Results: 1