Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 11
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Колешко, Владимир Михайлович.
Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике / В. М. Колешко, А. А. Ковалевский ; Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1978. - 343 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 320-340.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые материалы -- тонкие пленки -- физика тонких пленок -- многофотонные процессы -- однофотонная ионизация
Доп.точки доступа:
Ковалевский, Александр Адамович
Академия наук Белорусской ССР. Институт электроники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Колешко, Владимир Михайлович.
Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике / В. М. Колешко, А. А. Ковалевский ; Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1978. - 343 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 320-340.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые материалы -- тонкие пленки -- физика тонких пленок -- многофотонные процессы -- однофотонная ионизация
Доп.точки доступа:
Ковалевский, Александр Адамович
Академия наук Белорусской ССР. Институт электроники
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
П 533
Полупроводниковые пленки для микроэлектроники / Академия наук СССР, Сибирское отделение; Институт физики полупроводников ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. : Л. Н. Александров, В. И. Петросян. - Новосибирск : Наука, 1977. - 248 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые пленки -- микроэлектроника -- фазовые переходы -- полупроводники -- пленки поликристаллического кремния
Доп.точки доступа:
Александров, Леонид Наумович \ред.\
Петросян, Вольдемар Иванович \ред.\
Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт физики полупроводников
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (2)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (2)
П 533
Полупроводниковые пленки для микроэлектроники / Академия наук СССР, Сибирское отделение; Институт физики полупроводников ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. : Л. Н. Александров, В. И. Петросян. - Новосибирск : Наука, 1977. - 248 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые пленки -- микроэлектроника -- фазовые переходы -- полупроводники -- пленки поликристаллического кремния
Доп.точки доступа:
Александров, Леонид Наумович \ред.\
Петросян, Вольдемар Иванович \ред.\
Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт физики полупроводников
Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (2)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (2)
3.
Подробнее
Васичев, Борис Никитович.
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок / Б. Н. Васичев. - Москва : Металлургия, 1977. - 239 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 236-239.
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- локальный анализ -- элементный состав -- микроанализ электронно-зондовый -- микрофазы вещества -- электронномикроскопические объекты -- рентгеновские спектры
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Васичев, Борис Никитович.
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок / Б. Н. Васичев. - Москва : Металлургия, 1977. - 239 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 236-239.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- локальный анализ -- элементный состав -- микроанализ электронно-зондовый -- микрофазы вещества -- электронномикроскопические объекты -- рентгеновские спектры
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
4.
Подробнее
Одиноков, Вадим Васильевич.
Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании : учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений / В. В. Одиноков. - Москва : Высшая школа, 1981. - 52, [3] с. : ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр. : с. 54
Кл.слова (ненормированные):
шлюзование -- шлюзовые системы -- вакуумное оборудование -- вакумная техника
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Одиноков, Вадим Васильевич.
Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании : учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений / В. В. Одиноков. - Москва : Высшая школа, 1981. - 52, [3] с. : ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр. : с. 54
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
шлюзование -- шлюзовые системы -- вакуумное оборудование -- вакумная техника
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
5.
Подробнее
Б 948
Бушминский, Игорь Петрович.
Конструирование и технология пленочных СВЧ микросхем / И. П. Бушминский, Г. В. Морозов ; [ред. кол. : В. Б. Пестряков (отв. ред.) и др.]. - Москва : Советское радио, 1978. - 143 с. : ил., табл. - (Библиотека радиоконструктора). - Библиогр. в конце гл.
Кл.слова (ненормированные):
гибридные интегральные схемы -- микросхемы -- радиоэлектронная аппаратура -- пленочные элементы -- пленки резистивные -- пленки диэлектрические
Доп.точки доступа:
Морозов, Георгий Валерьевич
Пестряков, В. Б. \ред.\
Экземпляры всего: 3
Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Б 948
Бушминский, Игорь Петрович.
Конструирование и технология пленочных СВЧ микросхем / И. П. Бушминский, Г. В. Морозов ; [ред. кол. : В. Б. Пестряков (отв. ред.) и др.]. - Москва : Советское радио, 1978. - 143 с. : ил., табл. - (Библиотека радиоконструктора). - Библиогр. в конце гл.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
гибридные интегральные схемы -- микросхемы -- радиоэлектронная аппаратура -- пленочные элементы -- пленки резистивные -- пленки диэлектрические
Доп.точки доступа:
Морозов, Георгий Валерьевич
Пестряков, В. Б. \ред.\
Экземпляры всего: 3
Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
6.
Подробнее
Корзо, Виктор Федорович.
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 366, [1] с. : ил., табл. - (Электронное материаловедение). - Библиогр. : с. 344-365
Кл.слова (ненормированные):
пленочные диэлектрики -- электронные устройства -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- тонкие диэлектрики
Доп.точки доступа:
Черняев, Владимир Николаевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Корзо, Виктор Федорович.
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 366, [1] с. : ил., табл. - (Электронное материаловедение). - Библиогр. : с. 344-365
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
пленочные диэлектрики -- электронные устройства -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- тонкие диэлектрики
Доп.точки доступа:
Черняев, Владимир Николаевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
7.
Подробнее
К 784
Красов, Владимир Григорьевич.
Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике / В. Г. Красов, Г. Б. Петраускас, Ю. С. Чернозубов. - Москва : Радио и связь, 1985. - 167 с. : ил., табл. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры.). - Библиогр. : с. 163-166.
Кл.слова (ненормированные):
толстопленочные СВЧ -- микросхемы -- СВЧ на основе толстых пленок -- толстопленочные технологии -- микроэлектронные СВЧ устройства -- микроэлектроника -- радиоэлектронная аппаратура
Доп.точки доступа:
Петраускас, Гидеминас Брониславо
Чернозубов, Юрий Сергеевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
К 784
Красов, Владимир Григорьевич.
Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике / В. Г. Красов, Г. Б. Петраускас, Ю. С. Чернозубов. - Москва : Радио и связь, 1985. - 167 с. : ил., табл. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры.). - Библиогр. : с. 163-166.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
толстопленочные СВЧ -- микросхемы -- СВЧ на основе толстых пленок -- толстопленочные технологии -- микроэлектронные СВЧ устройства -- микроэлектроника -- радиоэлектронная аппаратура
Доп.точки доступа:
Петраускас, Гидеминас Брониславо
Чернозубов, Юрий Сергеевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
8.
Подробнее
Толстопленочная микроэлектроника / [В. Г. Гребенкина, В. С. Доброер, Л. И. Панов и др.] ; [отв. ред. Ю. М. Горячев]. - Киев : Наукова думка, 1983. - 248 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 241-245
Кл.слова (ненормированные):
миниатюризация радиоэлектронной аппаратуры -- конструирование толстопленочных микросборок -- тепловой режим микросборок -- проводниковые пасты -- диэлектрические пасты -- полимерные пасты -- лазерные установки
Доп.точки доступа:
Гребенкина, Валентина Георгиевна
Доброер, Владимир Сергеевич
Панов, Леонид Иванович
Горячев, Ю. М. \ред.\
Академия наук Украинской ССР. Институт проблем материаловедения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Толстопленочная микроэлектроника / [В. Г. Гребенкина, В. С. Доброер, Л. И. Панов и др.] ; [отв. ред. Ю. М. Горячев]. - Киев : Наукова думка, 1983. - 248 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 241-245
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
миниатюризация радиоэлектронной аппаратуры -- конструирование толстопленочных микросборок -- тепловой режим микросборок -- проводниковые пасты -- диэлектрические пасты -- полимерные пасты -- лазерные установки
Доп.точки доступа:
Гребенкина, Валентина Георгиевна
Доброер, Владимир Сергеевич
Панов, Леонид Иванович
Горячев, Ю. М. \ред.\
Академия наук Украинской ССР. Институт проблем материаловедения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
9.
Подробнее
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324.. - ISBN 5283039390
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324.. - ISBN 5283039390
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
10.
Подробнее
Комраков, Борис Михайлович.
Измерение параметров оптических покрытий / Б. М. Комраков, Б. А. Шапочкин. - Москва : Машиностроение, 1986. - 132 с. : табл., ил. - (Библиотека приборостроителя). - Библиогр. : с. 128-130
Кл.слова (ненормированные):
покрытия оптические -- показатели преломления -- дисперсия -- интерферометрия -- рефрактометрия -- эллипсометрия -- оптоэлектроника
Доп.точки доступа:
Шапочкин, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Комраков, Борис Михайлович.
Измерение параметров оптических покрытий / Б. М. Комраков, Б. А. Шапочкин. - Москва : Машиностроение, 1986. - 132 с. : табл., ил. - (Библиотека приборостроителя). - Библиогр. : с. 128-130
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
покрытия оптические -- показатели преломления -- дисперсия -- интерферометрия -- рефрактометрия -- эллипсометрия -- оптоэлектроника
Доп.точки доступа:
Шапочкин, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Page 1, Results: 11