Skip to content 
el cat en
База данных: Electronic catalog FEFU
Page 1, Results: 6
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Васичев, Борис Никитович.
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок / Б. Н. Васичев. - Москва : Металлургия, 1977. - 239 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 236-239.
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- локальный анализ -- элементный состав -- микроанализ электронно-зондовый -- микрофазы вещества -- электронномикроскопические объекты -- рентгеновские спектры
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Васичев, Борис Никитович.
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок / Б. Н. Васичев. - Москва : Металлургия, 1977. - 239 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 236-239.
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- локальный анализ -- элементный состав -- микроанализ электронно-зондовый -- микрофазы вещества -- электронномикроскопические объекты -- рентгеновские спектры
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
2.
Подробнее
Одиноков, Вадим Васильевич.
Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании : учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений / В. В. Одиноков. - Москва : Высшая школа, 1981. - 52, [3] с. : ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр. : с. 54
Кл.слова (ненормированные):
шлюзование -- шлюзовые системы -- вакуумное оборудование -- вакумная техника
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Одиноков, Вадим Васильевич.
Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании : учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений / В. В. Одиноков. - Москва : Высшая школа, 1981. - 52, [3] с. : ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр. : с. 54
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
шлюзование -- шлюзовые системы -- вакуумное оборудование -- вакумная техника
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
3.
Подробнее
Корзо, Виктор Федорович.
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 366, [1] с. : ил., табл. - (Электронное материаловедение). - Библиогр. : с. 344-365
Кл.слова (ненормированные):
пленочные диэлектрики -- электронные устройства -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- тонкие диэлектрики
Доп.точки доступа:
Черняев, Владимир Николаевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Корзо, Виктор Федорович.
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 366, [1] с. : ил., табл. - (Электронное материаловедение). - Библиогр. : с. 344-365
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
пленочные диэлектрики -- электронные устройства -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- тонкие диэлектрики
Доп.точки доступа:
Черняев, Владимир Николаевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
4.
Подробнее
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324.. - ISBN 5283039390
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324.. - ISBN 5283039390
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
5.
Подробнее
Комраков, Борис Михайлович.
Измерение параметров оптических покрытий / Б. М. Комраков, Б. А. Шапочкин. - Москва : Машиностроение, 1986. - 132 с. : табл., ил. - (Библиотека приборостроителя). - Библиогр. : с. 128-130
Кл.слова (ненормированные):
покрытия оптические -- показатели преломления -- дисперсия -- интерферометрия -- рефрактометрия -- эллипсометрия -- оптоэлектроника
Доп.точки доступа:
Шапочкин, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Комраков, Борис Михайлович.
Измерение параметров оптических покрытий / Б. М. Комраков, Б. А. Шапочкин. - Москва : Машиностроение, 1986. - 132 с. : табл., ил. - (Библиотека приборостроителя). - Библиогр. : с. 128-130
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
покрытия оптические -- показатели преломления -- дисперсия -- интерферометрия -- рефрактометрия -- эллипсометрия -- оптоэлектроника
Доп.точки доступа:
Шапочкин, Борис Алексеевич
Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
6.
Подробнее
Вейко, Вадим Павлович.
Лазерная обработка пленочных элементов / В. П. Вейко. - Ленинград : Машиностроение, 1986. - 248 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 239-246
Кл.слова (ненормированные):
лазеры -- пленочные покрытия (электроника) -- лазерная обработка пленок -- электроника -- обработка материалов (электроника) -- лазерные технологии -- взаимодействия лазерного излучения -- лазерное излучение -- технологические процессы -- методы обработки материалов
Экземпляры всего: 4
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Ч/З о. Русский (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Ч/З о. Русский (1)
Вейко, Вадим Павлович.
Лазерная обработка пленочных элементов / В. П. Вейко. - Ленинград : Машиностроение, 1986. - 248 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 239-246
| УДК |
Кл.слова (ненормированные):
лазеры -- пленочные покрытия (электроника) -- лазерная обработка пленок -- электроника -- обработка материалов (электроника) -- лазерные технологии -- взаимодействия лазерного излучения -- лазерное излучение -- технологические процессы -- методы обработки материалов
Экземпляры всего: 4
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Ч/З о. Русский (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (2), Ч/З о. Русский (1)
Page 1, Results: 6