Skip to content 
QR code of document
620.22:621.382(07
Александров, С. Е.
Технология полупроводниковых материалов / С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков. - 2-е изд., испр. - Санкт-Петербург : Лань, 2022. - 240 с.
. - ISBN 978-5-8114-1290-7
Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки
. - https://e.lanbook.com/book/168401
| УДК | 620.22:621.382(075.8) |
Рубрики: Инженерно-технические науки--Электроника--Лань
Кл.слова (ненормированные):
алюминий -- бестигельная зонная плавка -- бинарное соединение -- бриджмена - стокбаргера метод -- бриджмена-стокбаргера метод -- вернейля метод -- выращивание монокристаллов -- выращивание полупроводниковых монокристаллов -- галлий -- германий -- глубокая -- глубокая очистка веществ -- глубокая очистка исходных веществ -- индий -- кирополуса метод -- киропулоса метод -- компонент -- компонент летучий -- компонент нелетучий -- кремний -- летучий -- механизм автокапиллярный -- микроэлектронные схемы интегральные - производство -- монокристалл -- монокристаллы -- мышьяк -- нономатериалы -- очистка -- очистка полупроводниковых материалов -- полупроводник -- полупроводниковое соединение -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые материалы - физико-химические свойства -- полупроводниковые материалы полупроводники -- примесь -- расплав -- синтез -- синтез полупроводниковых соединений -- синтез метастабильный -- система нитридная -- строение кристаллическое -- технология -- технология монокристаллов -- технология полупроводников -- учебник и пособие -- учебные пособия -- фаза метастабильная -- формообразование -- фосфор -- чохральского -- чохральского метод -- электроника -- электротехника
Аннотация: Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.
Доп.точки доступа:
Греков, Ф. Ф.