Технология микроэлектронных устройств/Готра, Зенон Юрьевич.

 

QR code of document

Ratings: 0

621.38(03)
Г 74
621.38(03) Г 74 / Г 74-Книгохранение
Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 526 . - ISBN 5256006991

УДК
621.382.049.77(035)

Рубрики: микроэлектроника--справочники

   микроэлектронные приборы--производство--справочники

Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- монокристаллы полупроводников -- полупроводники поликристаллические -- полупроводники монокристаллические -- диффузия в полупроводниках -- эпитаксия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотолитография -- литография электронно-лучевая -- литография рентгеновская -- сборка микроэлектронных устройств -- герметизация микроэлектронных устройств -- производство микроэлектронных устройств -- справочники (микроэлектроника)
Экземпляры всего: 18
Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)
Свободны: Абонемент учебной и научной литературы (402) (13), Ч/З о. Русский (3), Книгохранение (2)

Please authorize to view