Дефекты в неоднородных микроэлектронных структурах/Гамаюнов, Евгений Леонидович.

 

QR code of document

Ratings: 0

621.38(075.8) Г 18
Гамаюнов, Евгений Леонидович.
    Дефекты в неоднородных микроэлектронных структурах : учебное пособие / Е. Л. Гамаюнов, Л. А. Чижевич ; Дальневосточный политехнический институт. - Владивосток : Изд-во Дальневосточного политехнического института, 1992. - 79 с. : ил. . - ISBN 5230050519

УДК
621.382.049.77(07)

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- монокристаллы полупроводниковые -- дефекты кристаллографические -- микросхемы интегральные -- жидкофазная эпитаксия -- электропроводность полупроводников -- дефекты металлизации -- дефекты электрических контактов
Доп.точки доступа:
Чижевич, Людмила Анатольевна
Дальневосточный политехнический институт (Владивосток)

Экземпляры всего: 6
ЕКВ ауд.402 учебная (5), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: ЕКВ ауд.402 учебная (5), Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг