Skip to content
QR code of document
621.382 А 432
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвузовский тематический научный сборник / Таганрогский радиотехнический институт ; [ред. кол. : Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. - Таганрог : [б. и.], 1978 - .
вып. 3 / Таганрогский радиотехнический институт. - 199 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце гл.
| УДК | 621.382.049.77.002 |
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- заряды в газовой фазе -- электрическое поле -- ионная бомбардировка металлов -- импульсная электронная бомбардировка -- МДП-транзисторы -- технологические электронные пушки
Доп.точки доступа:
Сеченов, Д. А. \ед.\
Таганрогский радиотехнический институт
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)