
QR code of document
> 621.382 В 852
Всесоюзная конференция по физическим основам твердотельной электроники : тезисы докладов, 25-29 сентября 1989 года, Ленинград : в 2 т / Физико-технический институт. - Ленинград : Изд-во Физико-технического института, 1989 - .
Т. А / Физико-технический институт (Санкт-Петербург), Всесоюзная конференция по физическим основам твердотельной электроники ((1 ; ; 1989 ; Ленинград)). - 354 с. : ил. - Библиогр. в конце ст.
УДК | 621.382.049.77(063) |
Кл.слова (ненормированные):
электроника -- микроэлектроника -- субмикронная литография -- электронные процессы -- оптические процессы
Доп.точки доступа:
Физико-технический институт (Санкт-Петербург)
Всесоюзная конференция по физическим основам твердотельной электроники ((1 ; ; 1989 ; Ленинград))
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)