Skip to content
QR code of document
621.382 Г 616
Голото, Иван Данилович.
Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров. - Москва : Энергия, 1975. - 208, [1] с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 203-207
| УДК | 621.382.002 | 621.382.049.75.002 |
Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- полупроводниковые приборы -- интегральные схемы -- полупроводниковые пластины -- очистка газов
Доп.точки доступа:
Докучаев, Борис Павлович
Колмогоров, Георгий Дмитриевич
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)