Исследование механизма взаимодействия направленного потока отрицательных частиц газоразрядной плазмы с поверхностью расплава никеля/Колпаков, В. А.

Исследование механизма взаимодействия направленного потока отрицательных частиц газоразрядной плазмы с поверхностью расплава никеля/Колпаков, В. А.

Колпаков, В. А.
    Исследование механизма взаимодействия направленного потока отрицательных частиц газоразрядной плазмы с поверхностью расплава никеля [Текст] / В. А. Колпаков, В. В. Подлипнов. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 1.

Кл.слова (ненормированные):
образование "закансий" -- направленный поток кремния -- поверхность расплава -- газоразрядная плазма -- диффузия атомов полупроводника -- поток отрицательных частиц -- поверхность расплава никеля
Доп.точки доступа:
Подлипнов, В. В.