Skip to content
QR code of document
Шумилов, А. С.
Моделирование морфологии поверхности при низкоэнергетическом ионном распылении [Текст] / А. С. Шумилов, И. И. Амиров. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 7.
Кл.слова (ненормированные):
ионное распыление -- низкоэнергетическое ионное распыление -- ионно-плазменное распыление -- кремневые канавки -- профиль кремнеевых канавок -- моделирование профиля кремнеевых канавок
Доп.точки доступа:
Амиров, И. И.