Дефекты структуры, методы их исследований и влияние на свойства кристаллов и пленок

 

QR code of document

Ratings: 0

621.315 Д 39

    Дефекты структуры, методы их исследований и влияние на свойства кристаллов и пленок : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники ; Московский институт электронной техники ; [ред. кол. : С. К. Максимов (гл. ред.) и др.]. - Москва : [б. и.], 1982. - 138 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце ст. - Ред. указ. на обор. тит. л.

УДК
621.315.592
539.2

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные системы -- дефекты МДП-структуры -- полупроводники -- гетероэпитаксиальные слои -- радиационные повреждения -- электромагнитные флуктуации -- физика твердого тела
Доп.точки доступа:
Максимов, С. К. \ред.\
Московский институт электронной техники

Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

Please authorize to view