Skip to content 
QR code of document
Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния [Текст] / С. А. Грудинкин [и др.]. // 7 nnas. Физика твердого тела. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 57, вып. 12.
Кл.слова (ненормированные):
инфракрасная спектроскопия -- карбид кремния -- монокристаллический кремний -- эпитаксиальный слой карбида кремния -- подложка кремния -- ИК-спектр карбида кремния
Доп.точки доступа:
Грудинкин, С. А.
Голубев, В. Г.
Осипов, А. В.
Феоктистов, Н. А.
Кукушкин, С. А.