МЭМС в автоматизации

МЭМС в автоматизации

https://library.dvfu.ru/en/lib/document/EK/53C54F0B-5036-4D7B-BFAA-F079C1219C09/

    МЭМС в автоматизации // Датчики и системы. Измерения. Контроль. Автоматизация : состояние, проблемы, перспективы. - N 4 (2008), С. 63-65. - (Измерения. Контроль. Автоматизация : состояние, проблемы, перспективы.- 2008.- N 4.- С. 63-65)

УДК

621.398

ББК 32.96

Рубрики: Радиоэлектроника

   Автоматика и телемеханика

Кл.слова (ненормированные):
промышленная автоматизация -- микроэлектромеханические системы -- МЭМС-технологии -- МЭМС-датчики -- мультисенсоры -- МЭМС
Аннотация: О новой технологии в области промышленой автоматизации - микроэлектромеханической системе (МЭМС). Представлены основные движущие силы развития МЭМС и технологические препятствия развитию МЭМС.

QR code of document