Skip to content 
Ваванова, Светлана Владимировна.
Формирование, структура и свойства тонких пленок силицида магния на Si (111) [Электронный ресурс] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / С. В. Ваванова. - Электроные текстовые данные. - Владивосток : [б. и.], 2007. - 22 с. : ил. - Библиогр. : с. 20-21
На правах рукописи. Электронная копия печатного издания
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки (физика) -- нанопленки (физика) -- полупроводники -- эпитаксиальные пленки -- поликристаллические пленки -- силициды -- роста пленок метод (физика) -- стехиометрия пленок (физика) -- твердофазный рост тонких пленок -- кремниевая термоэлектроника -- силицид магния (физика) -- магний (физика) -- кремний (физика) -- твердофазная эпитаксия -- твердофазный отжиг -- межкристаллитные дефекты -- эпитаксия -- авторефераты диссертаций -- физика конденсированного состояния