Методы нанолитографии. Достижения и перспективы

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы

https://library.dvfu.ru/en/lib/document/EK/6C6074AB-46AB-4A9E-85B0-E5BBEB4A1820/

37.8 М 545

    Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин [и др.] ; [науч. ред. В. Н. Лозовский]. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 110 - 111. . - ISBN 9785903286201

ББК 37.83

Рубрики: литография--нанотехнологии--монографии

Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- оптическая литография -- электронно-лучевая литография -- рентгенолитография -- ионолитография -- импринт-литография -- микроконтактная печать -- зондовая литография -- нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна
Лунин, Леонид Сергеевич
Лозовский, Владимир Николаевич \ред.\

Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

QR code of document