Получение тонких слоев диоксида кремния на кварце/Потелов, В. В.

 

QR code of document

Ratings: 0


Потелов, В. В.
    Получение тонких слоев диоксида кремния на кварце / В. В. Потелов // Стекло и керамика. - N 2 (2009), С. 9-11. - Библиогр.: с. 11 (3 назв. )

УДК
661.2/.6
ББК 35.20

Рубрики: Химическая технология

   Технология неорганических веществ

Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные слои -- диоксид кремния -- поверхность кварца -- тонкослойное покрытие -- кремнийсодержащее покрытие -- исходные реактивы
Аннотация: Исследованы возможности осаждения тонких слоев диоксида кремния на поверхности кварца в зависимости от химического состава исходных реактивов и условий проведения процесса.

Please authorize to view

Similar publications by classification

Эффективная технология получения серы из металлургического сернистого газа/Платонов, О. И.
Использование центрифуг в производстве фторида алюминия из кремнефтороводородной кислоты
Перспективы применения сернокислотно-сульфитного метода для комплексной переработки нефелина/Матвеев, В. А.; Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья Кольского научного центра РАН
Влияние состава апатитового сырья на состав и структуру отложений при упаривании экстракционной фосфорной кислоты/Трухан, В. Г.
Реактивация гопкалита, отработанного в разложении озона