Физические основы пучковой, плазменной и фотонной технологий / Цыбин, Александр Степанович.

 

QR code of document

Ratings: 0

539.2 Ц 932

   Цыбин, Александр Степанович
    Физические основы пучковой, плазменной и фотонной технологий : учебное пособие / А. С. Цыбин ; Московский государственный инженерно-физический институт (технический университет). - Москва : МИФИ, 1998 - .
   Ч. 1 / Московский государственный инженерно-физический институт (технический университет). - 143 с. : ил., табл. . - ISBN 5625041792

УДК
539.2+621.7/9.048.7]:539.1.04

Кл.слова (ненормированные):
корпускулярно-фотонные технологии -- пучковые технологические процессы -- лазерные технологические процессы -- плазменные технологические процессы -- электронно-лучевые технологии -- ионно-пучковые технологии -- легирование (полупроводники)
Доп.точки доступа:
Московский государственный инженерно-физический институт (технический университет)

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг