Skip to content
QR code of document
Солдатова, И. В.
Сравнительный анализ пленкообразования в плазме тлеющего разряда в смесях метана с неоном и аргоном / И. В. Солдатова, В. А. Котенев // Физикохимия поверхности и защита материалов. - Т. 45, N 6 (2009), С. 574-578. - Библиогр.: с. 578 (14 назв. )
| УДК | 533.9 |
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
пленкообразование -- полимерные пленки -- плазма -- тлеющие разряды -- метан -- неон -- аргон -- ИК-спектроскопия
Аннотация: В тлеющем разряде постоянного тока в смесях Ne и Ar с (1-5) % СН4 в диапазоне давлений 13-520 Па и токов разряда 5-100 мА определялись концентрации атомов Ne, Ar и Н в метастабильных и резонансных состояниях, концентрации атомарного водорода, скорости роста полимерных пленок. Методом эллипсометрии контролировали показатель преломления и толщины, а методом ИК-спектроскопии анализировали состав полимерных пленок.
Доп.точки доступа:
Котенев, В. А.
Similar publications by classification